激光干涉仪也是一种高精度位移传感器。激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能,可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。影响激光干涉仪测量精度的因素包括:温湿度、压力传感器误差。济南数控轴几何参量激光干涉仪供应厂家
激光干涉仪以其优异的亚纳米精度和精密度普遍应用于光学表面的评价,在精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域用途普遍。到激光干涉仪工作原理和一台干涉仪所应具备的基本组构。激光干涉仪是精度较高的线性位移测量仪器,其光波可以直接对米进行定义,可溯源至国家标准。激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异,此误差被称为余弦误差。当激光测量系统与运动轴未准直时,余弦误差会使得测量的距离比实际距离要短。随着未准直角度的增加,误差也跟着明显增加。济南数控轴几何参量激光干涉仪供应厂家影响激光干涉仪测量精度的因素包括:在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。
激光干涉仪的应用:1、几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。2、器的误差,而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿,比通常的补偿方法节省了大量时间,并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差,同时可蕞大限度地选用被测轴上的补偿点数,使机床达到蕞佳精度,另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。3、数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在,利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其精度达±1。比传统用自准直仪和多面体的方法不只节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴精度曲线,知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。
激光干涉仪常配合笔记本电脑使用,但如果不注意使用的问题,无论是软件矛盾、抑或是电脑病毒,往往会影响到测量和使用。激光干涉仪具有有线性测量镜组、角度测量镜组、平面度测量组件、直线度测量组件、垂直度测量镜组、激光器准直辅助镜等等,实际使用中,有些不同功能的镜组也可以相互组合使用,以满足测量需要。比如角度测量镜组中的反射镜也可以替换线性测量镜组中的反射镜;激光器准直辅助镜的使用可以减少准直调整的时间。同时,激光干涉仪各个测量镜组也可以在别的测量工作中使用,常见的利用分光镜或者光学直角器,达到改变光路,方便测量的目的。这需要,了解设备性能、掌握测量技巧,在满足测量准确度的前提下活学活用。激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
激光干涉仪:误差影响精确度:大气折射率。激光频率稳定性:在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。余弦误差:在测定三坐标测量机的定位误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。死程误差:在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。细分误差:在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。激光干涉仪作为精密工具机或测量仪器的校正工作。济南数控轴几何参量激光干涉仪供应厂家
影响激光干涉仪测量精度的因素包括:激光器频率(波长)及频率稳定性。济南数控轴几何参量激光干涉仪供应厂家
随着光学产品的快速发展,从高科技产品到数码相机、手机等大众消费产品,无不与光学息息相关,推动了光学研究和光学加工的快速发展,同时也光学检测手段提出了更高的要求,也正因为如此,激光干涉仪成为众多光学冷加工厂商的梦想与追求,拥有一台激光干涉仪,就拥有世界先进的检测手段,就拥有令人信服的检测结果,就能证明可以生产先进的产品。目前激光干涉仪已普遍地应用在光学加工企业、光学检测机构以及其他需要进行光学表面检测的场合。济南数控轴几何参量激光干涉仪供应厂家