浙江激光干涉仪

随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前公认的高效、高精度的检测方法。激光干涉仪测量原理：激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。激光干涉仪的测量精度高。浙江激光干涉仪

激光干涉仪的应用：数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在，利用激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不只节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。双轴定位精度的检测及其自动补偿。激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。浙江激光干涉仪激光干涉仪使用注意事项：仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。

激光干涉仪使用注意事项：1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。

数控机床的传动机构一般是滚珠丝杆副，滚珠丝杆副在生产制造和装配过程中都存在一定误差，且长期使用造成的磨损等因素都会使其精度下降，当前为有效且普遍应用的方法是利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿。数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的表示之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。机床系统种类繁多，正逐步向自动补偿迈进。激光干涉仪是公认的高精度、高灵敏度的检测手段。

激光干涉仪的测试质量是由镜子本身和反冲质量组成的复合体。这个复合体是将镜子的一部分嵌在一个与其质量相等的反冲质量体内做成的。镜子和反冲质量两者的纵轴要重合,镜体的背面分布着四个永磁体做成的针,而相应的线圈固定在反冲质量体与其相对的面上。针伸入对应的线圈内,组成磁铁-线圈驱动器。这四组磁铁-线圈驱动器用来调整和控制镜体的方向和位置。在激光干涉仪引力波探测器运行过程中,需要使用光杠杆对测试质量的状态进行实时控制,使干涉仪稳定地保持锁定状态。激光干涉仪是激光的应用之一。浙江激光干涉仪

激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。浙江激光干涉仪

激光干涉仪laserinterferometer以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。激光具有高的强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平。常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量、回转精度测量、平行度测量和小角度测量。浙江激光干涉仪