双频激光干涉仪:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为只含有f1的光束,另一路成为只含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来只含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量。东莞专业激光干涉仪加工设计
激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量,此时检测结果将收到很大的影响。对激光干涉仪要小心轻放,避免强烈的冲击震动,安置仪器前应检查三脚架的牢固性,整个作业过程中工作人员不得离开仪器,防止意外发生。激光干涉仪要设置专库存放,环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温,仪器箱不要靠近火炉或暖气管。激光干涉仪具有快速、高准确测量的优点,是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标Z常用的标准仪器,掌握一些激光干涉仪的使用技巧会使测量互作事半功倍。东莞专业激光干涉仪加工设计激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。
激光干涉仪的应用:1、几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。2、器的误差,而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿,比通常的补偿方法节省了大量时间,并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差,同时可蕞大限度地选用被测轴上的补偿点数,使机床达到蕞佳精度,另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。3、数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在,利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其精度达±1。比传统用自准直仪和多面体的方法不只节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴精度曲线,知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。
激光干涉仪的使用方法:开机:接通电源打开电源开关,1分钟后开始检测。(因为刚开机激光器不稳定)。光路调整:旋上适合的标准镜头使标准镜头的星点对准寻星窗口中间的黑点,显示器上显示完整的圆形图像。透镜面形检测:调节沉座到被检透镜的适合尺寸,(建议大批量固定透镜的检测,自己加工固定的沉座)放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合,观测显示器是否出现干涉条纹,条纹越少精度越高。其干涉图像与对准系统同步,无需切换,任何人都能简单操作。高度调节结构选择加长的测试轨道来配合测量尺寸,可简便的测量出曲率半径。用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测。
激光干涉仪常配合笔记本电脑使用,但如果不注意这些问题,无论是软件抑或是电脑病毒,往往会影响到测量和使用。激光干涉仪的测量精度与哪些因素有关?激光干涉仪在实际使用中,需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。激光干涉仪的测量读数均与激光波长有关,因此激光器频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保障。此外,激光干涉仪的环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数准确性对的测量精度有着重要的影响。激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器,其光波可以直接对米进行定义。东莞专业激光干涉仪加工设计
激光干涉仪的使用注意事项:各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温,仪器箱不要靠近火炉或暖气管。东莞专业激光干涉仪加工设计
激光干涉仪的使用注意事项:激光干涉仪的使用注意事项激光干涉仪必须定人保管,机加技术组人员专人使用,专人送检,他人不得随意动用,以防损坏,降低精度。激光干涉仪必须定人保管,机加技术组人员专人使用,专人送检,他人不得随意动用,以防损坏,降低精度。对激光干涉仪要小心轻放,避免强烈的冲击震动,安置仪器前应检查三脚架的牢固性,整个作业过程中工作人员不得离开仪器,防止意外发生。激光干涉仪各个测量镜组也可以在别的测量工作中使用,常见的利用分光镜或者光学直角器,达到改变光路,方便测量的目的。东莞专业激光干涉仪加工设计