低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整的系列,并研究开发出各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵。由于真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。天津真空泵制造厂
对真空泵的工作蒸汽及其干度的研究:蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响,因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力,但所用真空泵结构设计已定型,过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外,要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定,建议用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽,这样蒸汽压力就不会出现波动,真空泵性能稳定。对循环冷却水要求的研究:冷却水供量不足,冷凝器会发热,气流声音变大,真空度迅速下降,甚至蒸汽会返入抽气管。天津小型真空泵多少钱在真空泵中,相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强,表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。
在现代设计制造中,把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许较大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力,让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。简单地说,对于排气阻力大的系统,我们的选型范围是:FM系列、FAA系列、PCF系列;对于排气阻力小的系统,选型范围是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。对于质量欠佳的产品尽量不要选用。
爪形真空泵为多级串联结构,每级泵均应严格控制端面间隙,即四级泵需严格控制8个端面间隙,泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障,另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性,一般人员很难达到装配要求;因爪形真空泵为多级串联结构,排气通道复杂,在抽除可凝性气体时(例如:水蒸汽,有机溶剂气体等),在泵腔内压缩时会产生较多的液体,这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大,四级爪形真空泵有8个端面,不宜抽除大量可凝性气体。干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美目前已经成为微电子、半导体等行业选择真空获得设备。
微型真空泵的介质温度问题。根据通过泵的介质气体的温度,选择要普通型的还是要高温型的。微型泵的可靠性问题。根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定,完全根据自己的要求。好的品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时,有的高到数千小时。特别注意,这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的,是比较恶劣的工况,如果实际使用不是满载或连续运行,该数值会高一些,高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力,从产品外观上可以看出一些,如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。微型泵的电磁干扰问题。如果有精密电路控制微型泵,视电路抗干扰能力而定,可能需要订购低电磁干扰的微型泵。水环真空泵开始用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。耐腐真空泵销售
水环真空泵泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。天津真空泵制造厂
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵,真空泵是一种旋转式变容,真空泵必须具有前级泵配合,方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感,普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。天津真空泵制造厂
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