重庆高温无氧烘箱工艺试验

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。■特点：●MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。●采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。●高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。●通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。●可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。●标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。●液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。■安全性：●拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。浚和(上海)仪器有限公司致力于提供高温无氧烘箱，期待您的光临！重庆高温无氧烘箱工艺试验

DTN450C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

③内容积：91L

④棚板层数/层间距：12层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

⑩重量：约900kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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无氧烘箱温控系统及保护措施

一、无氧烘箱温控系统

1、控制器采用8段微电脑温度控制器，具有PID控制参数自动整定功能。

2、温度测量：采用特制锴装铂电阻；

二、完善的安全保护措施：

1、漏电断路器

2、超温保护

3、欠相保护

4、马达过载电流保护

5、机台异常蜂鸣器警示

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C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）●用途：电子元器件高温处理工艺。●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。室温+30～360℃规格参数：温度范围室温：+30～360℃温度分布精度：±4.0℃（at360℃）温度上升时间：60min（室温→360℃）温度下降时间：90min（360℃→50℃）氧浓度：20ppm以下氧浓度下降时间：约45分钟运转功能：定值运转、程序运转装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等内尺寸：W600×D600×H600mm电源：3相AC380V室温+50～600℃规格参数：温度范围室温：室温+50～600℃温度分布精度：±8.0℃（at600℃）温度上升时间：90min（室温→600℃）温度下降时间：120min（600℃→50℃）氧浓度：20ppm以下氧浓度下降时间：约45分钟运转功能：定值运转、程序运转装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等内尺寸：W600×D600×H600mm电源：3相AC380V浚和(上海)仪器有限公司高温无氧烘箱值得用户放心。

气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似

      气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似，其设计和计算方法相似。 但是，由于要将受控气氛引入炉内，除了相应的附加装置如气氛发生装置，管道系统和滴灌系统外，还应满足炉子结构的某些特殊要求。

      1.密封性好。 炉壳主要由连续焊缝组成，活动可拆卸件由石棉绳和水玻璃制成，密封用螺钉压紧：炉体密封部分采用密封填料，压紧法兰，油封密封。 和水冷套; 材料端的前端和后腔配有两个炉门，它们交替地打开和关闭，以防止空气直接进入炉子; 在门和炉门上按压砂封槽和滚轮，倾斜块，螺栓，炉门倾斜3°。  7°重力压缩密封，或使用防火帘密封等; 定期检查管道系统是否泄漏。

      2.大气均匀流动。 合理选择进风口和排气口的位置，充电时留有间隙，并考虑气流。 用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。

      3.合适的加热元件。为了防止炉内气氛作用于加热元件和炭黑沉积引起的短路现象，可控气氛炉的加热元件通常采用板状抗渗碳电热元件（低压和大电流电源）或辐射管加热元件，隔离气氛。

      4.设置前后腔室，淬火槽用炉体密封。 在前室和后室进料和排出后，泵送真空并重新填充保护气体，减少了大气消耗。

      5.配有安全防爆装置。

高温无氧烘箱，就选浚和(上海)仪器有限公司，用户的信赖之选，有想法可以来我司咨询！重庆高温无氧烘箱工艺试验

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DNN430C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1090×950×1540

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 16A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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重庆高温无氧烘箱工艺试验

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