雅玛拓高温无氧烘箱固化半导体晶圆

无氧化烘箱的安全操作规程

      无氧化烘箱是一种新型厌氧电热真空干燥箱设备，其通过氮气孔注入氮气挤出箱内空气再加热从而形成真空无氧化环境下高温干燥的要求。我们来看看他的安全操作规程：

      1、无氧化烘箱通电前应检查电源线路绝缘应良好，不准有漏电。加热器电阻丝之间不得有碰触，以防短路。

      2、无氧化烘箱通电前应打开排气阀门。

      3、使用非防爆电烘箱，严禁带挥发性的物件进入烘箱内。

      4、随时观察并调整箱内温度，应符合烘件工艺要求的温度。

      5、无氧化烘箱要保持烘箱内清洁，检查和擦除烘箱内电阻丝旁的氧化皮。

      6、切断电源，关闭烘门。

  以上便是关于无氧化烘箱的的安全操作规程的分享了，希望对大家今后使用本设备能有帮助。 浚和(上海)仪器有限公司为您提供高温无氧烘箱，有想法可以来我司咨询！雅玛拓高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DTN450C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

③内容积：91L

④棚板层数/层间距：12层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

⑩重量：约900kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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DTN630C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

⑦洁净度：温度恒定时100级

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器9KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等

选购气氛炉考虑哪些方面的特点操作

      1、耐火材料：采用还原性气体，为了不影响砌体的使用寿命，以及不破环正常炉内气氛，要求炉膛砌体采用抗渗碳耐火材料。

     2、自动化程度：密封性要求高，出料操作过程复杂，要求一台炉子多用，大批量生产时，多组成大型联合热处理专项使用或者两用以上的机组，因而要求有较高的机械化，自动化程度。

     3、密封性：为了控制炉内的气氛，维持炉内的压力，炉内工作空间始终要与外界空气隔绝，故要求炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，哪些方面的特点操作热电偶，辐射管，推拉料机等采用密封装置。

     4、防爆装置：还原气体和空气混合达到一定混合比，购买设备应考虑在一定温度下易引起爆裂，故对炉子的前，后室，淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置，炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。 浚和(上海)仪器有限公司致力于提供高温无氧烘箱，有想法可以来我司咨询。

真空气氛炉用氩气和氮气的区别？

      说到真空气氛炉用氩气和氮气有什么区别，我们专门问了不同的技术人员，得到了如下回答：

      1、两者都是惰性气体，只是氮气没氩气惰。氮气密度和空气差不多，氩气密度较大，可以沉在底部，将空气驱走。氮气价格便宜。

      2、纯度可以不一样的。氮气的纯度没有氩气的高，同时含水量氩气也要少。

      3、氮气比氩气传热快。

      4、氮气是双原分子，氩气是单原子惰性气体，高温的时候氮气容易与物质发生化学反应，故高温1000多度以上时，多采用氩气。

      5、一般1000度以下处理碳材时，氮气或者氩气效果基本一样。如果是氢气氩气混合气，会带走有机物中的部分含氧官能团，并且一定的温度下，即便没有氢气存在，含氧官能团也会以某种形式分解掉的。

      6、氮气在高温时容易把你的反应物物质氮化，所以要求纯度高的话还是选用氩气吧。

      从以上技术人员的回答中，我们不难看出的是氮气比氩气便宜，所以一般在1000度以下时候一般用氮气，超过1000度以后就需要用氩气了，不过也要根据需要热处理的物品的材质才确定用哪种气体。 浚和(上海)仪器有限公司致力于提供高温无氧烘箱，欢迎您的来电哦！河南高温无氧烘箱DTN630C

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DNN430C/630C/460C/660C 厌氧高温气氛炉（YAMATO）

      氧浓度20ppm、MAX工作温度600℃的气氛炉，适用于无氧环境下的高温热处理。

特点：

      ● MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度低于20ppm，主要应用于电子元件退火、LTCC去除、玻璃基板退火、陶瓷脱脂等。

      ● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量低。

      ● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

      ● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

      ● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

      ● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

      ● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置。 雅玛拓高温无氧烘箱固化半导体晶圆

浚和（上海）仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商，致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来，持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。

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公司主要经营产品包括：等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等，目前主要合作品牌有：日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时，公司还提供专业的技术服务，如设备的维护、验证等。

浚和仪器将始终以行业特点为立足点，以客户需求为导向，不断地提高自身专业技术能力，不停地完善客户服务质量，在发展中保持创新的精神，力求与客户共同进步，为行业的发展作出不懈的努力。