C1-007厌氧高温气氛炉(YAMATO)
●用途:电子元器件高温处理工艺。
●用途:光刻工艺后段,光刻胶固化。
●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。
●程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。
●快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
●在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异
●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
室温+30~360℃ 规格参数:
温度范围室温:+30~360℃
温度分布精度:±4.0℃(at 360℃)
温度上升时间:60min(室温→360℃)
温度下降时间:90min(360℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
运转功能:定值运转、程序运转
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
室温+50~600℃ 规格参数:
温度范围室温:室温+50~600℃
温度分布精度:±8.0℃(at 600℃)
温度上升时间:90min(室温→600℃)
温度下降时间:120min(600℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
运转功能:定值运转、程序运转
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
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气氛炉产生故障的注意及应急方法
编制使用维护操作规程,建立运行记录和修理档案,统计运行累积工作时间,加强日常维护,掌握设备技术状态变化趋势,及早发现故障损坏苗头,避免属于事故抢修性质的热修,并根据电炉子负荷和工作状况,提前有针对性地准备修理用料,编制修理工艺。如合金元件的使用寿命长短与工作温度、炉内介质、元件质量及操作情况等许多因素有关,其波动寿命6000~10000h。
气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多,长期闲置时泄漏故障易发生。我厂采取每月一次测压升率(在常温下,关闭所有真空阀,停止真空系统运转,1Omin后读一个数,1h后再读一个数,两数之差是压升率的数值),掌握设备泄漏变化趋势,如真空设备连续停机一个礼拜,要空运转一次。
在气氛炉系统检漏时,除用泥糊堵外,也可用医用针管吸乙醚射至漏点处,观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板,分段封堵真空管路,进行检漏。扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。
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无氧烘箱与普通工业烘箱的比较
无氧烘箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
一、无氧烘箱与普通工业烘箱在结构上的区别
无氧烘箱会对内箱进行满焊,同时做密封处理,这样充入的惰性气体就不会泄露,同时保证了内部的无氧环境。而普通烘箱内箱虽然也是满焊,但是没有做密封处理。
二、无氧烘箱与普通工业烘箱在控制系统上的区别
无氧烘箱需要增加氮气控制系统,同时需要有延时加热功能,就是说在加热之前进行延时充氮,以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境,避免高温氧化。当然,一些其他的控制技术包括双流量充氮省能源控制等方式也被许多用户采纳,即双流量+延时加热,大流量氮气充入,延时加热,当箱内充满氮气后,自动切换为小流量以此节省氮气。 而普通烘箱则没有这些功能。
气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似
气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似,其设计和计算方法相似。 但是,由于要将受控气氛引入炉内,除了相应的附加装置如气氛发生装置,管道系统和滴灌系统外,还应满足炉子结构的某些特殊要求。
1.密封性好。 炉壳主要由连续焊缝组成,活动可拆卸件由石棉绳和水玻璃制成,密封用螺钉压紧:炉体密封部分采用密封填料,压紧法兰,油封密封。 和水冷套; 材料端的前端和后腔配有两个炉门,它们交替地打开和关闭,以防止空气直接进入炉子; 在门和炉门上按压砂封槽和滚轮,倾斜块,螺栓,炉门倾斜3°。 7°重力压缩密封,或使用防火帘密封等; 定期检查管道系统是否泄漏。
2.大气均匀流动。 合理选择进风口和排气口的位置,充电时留有间隙,并考虑气流。 用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。
3.合适的加热元件。为了防止炉内气氛作用于加热元件和炭黑沉积引起的短路现象,可控气氛炉的加热元件通常采用板状抗渗碳电热元件(低压和大电流电源)或辐射管加热元件,隔离气氛。
4.设置前后腔室,淬火槽用炉体密封。 在前室和后室进料和排出后,泵送真空并重新填充保护气体,减少了大气消耗。
5.配有安全防爆装置。
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管式炉和气氛炉排出的H2和CO等还原气氛怎么处理
在管式炉、气氛炉的应用中,经常要通入氢气和一氧化碳等还原气氛、但是实验过程中不一定能完全的燃烧掉。剩余的尾气要妥善处理,否则可能会引发爆破中毒等危险事故。除了用专业的设备进行回收是否有简便的方法处置呢?
如果尾气的量很小的话可以考虑加装自动燃烧装置将剩余的尾气进行燃烧处理。我们将尾气连接到一个小的燃烧室中,该燃烧室工作原理类似于燃气灶,只是将点火装置改成了光感应控制。当炉子开始工作时,燃烧装置同时启动,此时燃烧室内光线很弱,光感开关启动并控制电脉冲点火,当尾气被点燃后燃烧室内光线明亮,光感开关停止,电脉冲不再点火,尾气就被持续的燃烧完全,成为无害的气体或水排掉。如果中途熄灭了,光感开关将再次控制电脉冲点火,这样就可以达到自动燃烧的目的。
该装置可以实现无人职守,方便实验人员干其他的事情,降低工作强度,提高实验效率。
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高温充氮烘箱的优势是什么
在半导体行业及金属非金属抗氧化行业中使用烘箱种类是非常多,但是只有高温充氮烘箱在市场中影响是很好的,优势如下:
1、干燥物品速度快。因为高温充氮烘箱在使用中干燥物品速度非常快,这是一般的烘箱所不能比的。
2、抗氧化性强。相对于普通烘箱,高温充氮烘箱带有氮气或惰性其他保护装置,在高温的烘烤环境下,实现低氧或无氧的工作环境,对一些需要高温、无氧产品来说相对来传统的烘箱就不如高温充氮烘箱效果好。所以也更符合客户的需求。
3、特别重要的是高温充氮烘箱在使用中不会对内在物品质量伤害。 湖北高温无氧烘箱如何选型
浚和(上海)仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商,致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来,持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。
浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时,结合行业和市场需求,加强和客户之间的沟通,并与国际上多家**仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系,不定期地与合作商进行技术交流,努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员,依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务,得到了广大用户的支持与信赖。
公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。
浚和仪器将始终以行业特点为立足点,以客户需求为导向,不断地提高自身专业技术能力,不停地完善客户服务质量,在发展中保持创新的精神,力求与客户共同进步,为行业的发展作出不懈的努力。