干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。广州NEODRY 36E干式真空泵维修点
日本KASHIYAMA NEODRY 30E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 30E技术参数:
式样:NEODRY 30E
MAX排气速度(L/min):500
达到压力(Pa):1
电源电压:单相AC200-220V
外型尺寸WHL [mm]:210×250×450
吸气口:KF40
噪声:≤60DB
排气口:KF25
质量【kg】:25kg
二、NEODRY30E 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
NEODRY 30E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
成都SDE1220干式真空泵代理商干式真空泵的好处都有:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。
日本KASHIYAMA SDL20E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:SDL20E60
MAX排气速度(L/min):40000
达到压力(Pa):0.8
电源电压:3相 AC200-220V,380-480V
外型尺寸WHL [mm]:850×1295×1370
重量(kg):800
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDL20E60主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:
1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。
2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。
3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。
4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE30N20 |
MAX排气速度(L/min) |
50000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
3.3KW |
外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE30N20主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式螺杆真空泵选型
干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
选择真空机组:
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
根据您的具体需求选择不同的干式真空泵系列。广州NEODRY 36E干式真空泵维修点
干式真空泵的系列有:多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。广州NEODRY 36E干式真空泵维修点
评价爆裂有两个指标:可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦,所以不会产生电火花,就没有了火源,另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到,从而杜绝爆裂!泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封,因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封,不存在由轴封损伤带来的停机,以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里,造成真空环境及排气口污染。广州NEODRY 36E干式真空泵维修点
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公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。
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