下面为大家介绍一下高温钟罩炉的内外部结构和配置。一、炉体配置炉膛结构:采用多晶莫来石材料砌筑而成有效尺寸:φ300×320mm(D×H)设备重量:约1200Kg外观颜色:挂板采用高温喷塑,颜色为江淮蓝外形尺寸:W1300×H2200×D1510(mm),不含(囱、指示灯)二、热工系统1.额定温度:1550℃2.限制温度:1600℃3.加热元件:U型硅钼棒4.加热功率:16kW5.空炉保温功率≤8kW6.温区个数:1个7.控温点数:1点8.热偶:B分度9.程序**精度:±2℃(大于600℃,升温速率≤3℃/min)10.控温稳定度:±1℃(恒温平台)11.炉膛温度均匀度:±4℃(恒温1500℃,2h)气氛炉的运作原理是什么?厦门气氛炉生产厂商
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜的氮气监控系统。1.温湿度记录功能:1.2内建内存,可储存温度/湿度,收集时间1~240分钟可自行设定。1.3可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。1.4品管记录格式设计,有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。2.湿度警报系统:2.1可设定启动警报的湿度值及条件,内配蜂鸣器(90分贝)及闪烁警示功能。2.2可另外选配积层式警示灯。3.温湿度偏移校正功能:内建校正功能,确保显示准确度。安徽气氛炉厂家直供气氛炉厂家直销定制,价格从优。
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜的氮气监控系统。1.2.3寸LED大屏幕数字显示湿度/温度。2.温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。3.温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。4.湿度控制:4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。4.2湿度在1%-60%RH可调整。
本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱,首先简单介绍一下HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。 增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。气氛炉如何发挥重要作用?
加热方法为了保证气氛的稳定性,气氛炉可分为马弗炉和无马弗炉两种,马弗炉的火焰在马弗外,工件在马弗内进行间接加热;无马弗炉采用各种火焰辐射管或者电辐射管,将火焰或者电热体与炉气隔开,以免破环炉内气氛的稳定。防爆装置还原气体和空气混合达到一定混合比,在一定温度下易引起 ,故对炉子的前,后室,淬火室 以及缓冷室等均设有防爆装置,炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。无马弗气氛炉采用还原性气体,为了不影响砌体的使用寿命,以及不破环正常炉内气氛,要求炉膛砌体采用抗渗碳耐火材料。合肥真萍科技气氛炉专业值得信赖。生产气氛炉市面价
气氛炉如何发挥重要作用?合肥真萍告诉您。厦门气氛炉生产厂商
1、可控气氛炉所使用的液化气体,是以压缩液体状态储存于气瓶内的,气瓶环境温度不允许超过45℃。
2、使用时必须保证液化气管路的气密性,以防发生火灾和事故。
3、由于无氧化加热的吸热式气体中一氧化碳的含量较高,因此使用时要特别注意保证室内通风良好,并经常检查管路的密封。
4、当炉温低于760℃或可燃气体与空气达到一定的混合比时,就有的可能,为此在启动与停炉时更应注意安全操作,可靠的办法是在通风及停炉前用惰性气体及非可燃气体氮气或二氧化碳吹扫炉膛及炉前室。
5、炉芯位置确定要准确,反应箱必须垂直吊放,高度适中,放置端正,两排箱体之间保持等距,定保炉芯宽度尺寸精确无误。反应箱四角与端墙缝隙处,用纸填实。 厦门气氛炉生产厂商