非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,有想法的可以来电咨询!陕西光谱共焦视觉检测传感器技术
什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。
光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。 内蒙古2D 测量传感器测量范围马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司,有想法可以来我司咨询!
测量状态指示灯包含三个LED信号灯,分别显示系统错误、光信号强度和量程预警。系统错误信号灯指示传输数据是否过载,光信号强度指示灯显示当前光强信号是否超过5%,而量程预警指示灯则显示测量样品是否在量程范围内。系统错误信号灯正常状态为关闭状态,即不显示任何颜色光。但当使用RS232或RS422接口同时传输数据时,测量频率和传输数据格式都可能影响数据传输量。当传输数据量过载时,该信号灯点亮为红色状态,此时则应该适当降低测量频率或更改数据传输格式。此外,选用USB方式传输则会较少遭遇数据过载情况。
ENITH控制器采用比较高质量标准制造,是一款坚固可靠的产品,可满足车间环境(如实验室)中**苛刻的应用,是工业环境中光谱共焦控制器的全新选择。ZENITH控制器的柔性测量,可以将被测产品造成损害的可能性降低到零。基于以太网通讯,ZENITH可以在非接触的情况下实现高精度的测量,而不会对被测产品造成任何损坏。
ZENITH框架紧凑,结构稳固,专为7天24小时全天候使用而设计。2ZENITH能够在各种类型的材料和物体表面进行超高分辨率的距离和厚度测量,包括各种反射性材料。3高频率采样是 ZENITH 与编码器(**多 5 个)结合用于外部测量同步的动态应用的理想选择之一。4ZENITH的控制器可兼容所有MARPOSS STIL光学笔:CL-MG、OP、ENDO和EVEREST,实现达纳米级精度的计量表现。 马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司,欢迎您的来电哦!
什么是光谱共焦干涉仪?
非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来,开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统,干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。
原理:
干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器。山东非接触式传感器解决方案
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所有不同波长的可见光重叠在一起,形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm(蓝光)到700nm(红光)。通过透镜,不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。众所周知,自然界的日光属白光一种,白光不是纯洁的光,而是许多单色光组成的。光在不同介质中传播可能会有角度偏差的现象产生,而实际的白光照射下不同介质将有很多单线光的折射。光学材料(透镜)对于不同单色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波长愈短折射率愈**长愈长折射率愈小(这也是不同望远镜所谓的色差不同的原因),同一薄透镜对不同单色光,每一种单色光都有不同的焦距,按色光的波长由短到长,它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上(不同的单色光的波长是不同的)这样成像就产生了所谓色差透镜错误。色差透镜错误使成像产生色斑或晕环。在摄影器材中,应通过特殊处理,尽量消减色差透镜错误导致的成像问题。常用的消除方法有双胶合系统与双分离系统。陕西光谱共焦视觉检测传感器技术
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