激光干涉仪是以激光波长为长度计量基准的高精度测量仪器,随着激光干涉仪的出现,因其具有性能稳定、检测精度高及数据可靠性好等优点,已成为高精密机械生产中校准及补偿的标准仪器,在机械制造、金属切削加工及航空航天等领域得到了普遍的应用。激光干涉仪有单频和之分,单频激光干涉仪受环境因素影响较大,一般用于特定环境的实验室。激光干涉仪应用频率变化来测量位移,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,抗干扰能力强,普遍应用于各种工况下。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。上海位移传感器激光干涉仪
激光干涉仪:从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。浙江数控机床激光干涉仪订购激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测。
激光干涉仪的主要特点:测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。可选的无线遥控传感器比较长的控制距离可到25米。可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。全套系统重量只15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架。集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间。激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。
随着光学产品的快速发展,从高科技产品到数码相机、手机等大众消费产品,无不与光学息息相关,推动了光学研究和光学加工的快速发展,同时也光学检测手段提出了更高的要求,也正因为如此,激光干涉仪成为众多光学冷加工厂商的梦想与追求,拥有一台激光干涉仪,就拥有世界先进的检测手段,就拥有令人信服的检测结果,就能证明可以生产先进的产品。目前激光干涉仪已普遍地应用在光学加工企业、光学检测机构以及其他需要进行光学表面检测的场合。激光干涉仪的光源——激光。
现代激光干涉技术是在人类关于光学的知识的基础上发展起来的。激光与普通光源相比,具有一些独特的性质:单色性好、相干性好、方向性强、亮度高。激光干涉仪是以激光波长为已知长度,利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量,普遍应用于各领域,已经成为人类认知世界的重要工具。由于激光具有极好的时间相干性,自问世以来,已研制出多种激光干涉仪:单频激光干涉仪、激光干涉仪、半导体激光干涉仪、法布里-珀罗(f-p)干涉仪、x射线干涉仪等。激光干涉仪是激光在计量领域中比较成功的应用之一。利用光的干涉实现测量,具有非接触、无损检测的特点,已经在各个不同领域得到普遍的应用。激光干涉仪具有有线性测量镜组、垂直度测量镜组、激光器准直辅助镜等等。深圳数控轴几何参量激光干涉仪
激光干涉仪有单频的和双频的两种。上海位移传感器激光干涉仪
激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势,其特点是测量精度快、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨,将反射镜同被测传感器放在一起同步检测,从而形成对比,位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对定位移进行测试对比,得出往复测试实验结果。激光干涉仪除了可以用来测量长度以外,如果配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。上海位移传感器激光干涉仪
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